MFC / MFM, LFC/LFM và van định lượng 

Kiểm soát lưu lượng khối

Đo lường lưu lượng khối khí không phụ thuộc vào nhiệt độ và áp suất, do đó quá trình kiểm soát một chất khí có thể được ổn định và lặp lại. Các bộ điều khiển lưu lượng chứa một bộ điều khiển PID và có thể được điều khiển thông qua các tín hiệu chuẩn hoặc mạng công nghiệp. Cảm biến lưu lượng không cần cơ cấu chấp hành và chỉ được dùng để đo lưu lượng khối.

Điều khiển van định lượng

Định vị các van có thể được kết hợp với các cơ cấu chấp hành khí nén, động cơ, chất áp điện hoặc điện từ. Những điểm khác biệt chính giữa các nguyên lý chấp hành là loại của thiết bị thành phần, động học và thông số lực tác động. Các van điện từ được biết đến như các van định lượng và phạm vi đường kính tiêu chuẩn dưới 25 mm. Điều khiển vòng kín và vòng hở có thể được phát triển bằng cách dùng các van định lượng. Điều khiển vòng hở điều khiển van mà không cần tín hiệu hồi tiếp, trong khi điều khiển vòng kín giám sát sự khác biệt giữa điểm thiết lập và điểm thực tế. Các van điện từ chuyến mạch, các van thường đóng, dọng cơ bản của van định lượng Bürkert. Các van định lượng tác động trực tiếp nhận tín hiệu trực tiếp từ vị trí tác động.