MFC / MFM, LFC/LFM và van định lượng
Đo lường lưu lượng khối khí không phụ thuộc vào nhiệt độ và áp suất, do
đó quá trình kiểm soát một chất khí có thể được ổn định và lặp lại
Đo lường lưu lượng khối khí không phụ thuộc vào nhiệt độ và áp suất, do
đó quá trình kiểm soát một chất khí có thể được ổn định và lặp lại