Rohde & Schwarz công bố giải pháp kiểm tra đặc tính thiết bị On-Wafer 

Rohde & Schwarz hiện cung cấp giải pháp thử nghiệm để mô tả đầy đủ đặc tính hiệu suất RF của DUT on-wafer kết hợp máy phân tích mạng vectơ R&S ZNA mạnh mẽ của Rohde & Schwarz với các hệ thống thăm dò kỹ thuật hàng đầu từ FormFactor. Kết quả là, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể thực hiện việc xác định đặc tính thiết bị on-wafer đáng tin cậy và có thể lặp lại trong giai đoạn phát triển, trong quá trình sản xuất và trong quá trình kiểm tra chất lượng sản phẩm.

Các nhà thiết kế mặt trước của 5G RF nhằm đảm bảo khả năng RF phù hợp cho vùng phủ tần số và công suất đầu ra đồng thời tối ưu hóa hiệu quả năng lượng. Một giai đoạn quan trọng trong quá trình này là điều tra thiết kế RF, để nhận được phản hồi về thiết kế càng sớm càng tốt và đánh giá hiệu suất cũng như khả năng đã có ở cấp wafer. Đặc trưng cho một DUT trong môi trường on-wafer yêu cầu một hệ thống đo lường bao gồm máy phân tích mạng vectơ (VNA), một trạm thăm dò, đầu dò RF, cáp hoặc bộ điều hợp, một phương pháp hiệu chuẩn chuyên dụng cũng như chất nền hiệu chuẩn cho DUT hoặc theo ứng dụng cụ thể.

Để thực hiện các phép đo thiết yếu này, Rohde & Schwarz đang cung cấp bộ phân tích mạng vectơ R & S®ZNA cao cấp, đặc trưng cho tất cả các thông số chất lượng RF ở cấp độ đồng trục và ống dẫn sóng, cũng như bộ mở rộng tần số cho phạm vi ứng dụng trên 67 GHz. FormFactor giải quyết tiếp xúc wafer với các hệ thống đầu dò thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động bao gồm điều khiển nhiệt, đầu dò tần số cao, bộ định vị đầu dò và các công cụ hiệu chuẩn. Việc hiệu chuẩn toàn bộ hệ thống thử nghiệm, bao gồm R&S ZNA, được hỗ trợ đầy đủ trong phần mềm hiệu chuẩn FormFactor WinCal XE.

Trong khi thiết lập thử nghiệm, người dùng có quyền truy cập vào tất cả các khả năng thử nghiệm của R&S ZNA nhờ thiết lập đã được hiệu chỉnh đầy đủ. Các bài kiểm tra thông số S chung cho phép xác định đặc tính cho các bộ lọc và thiết bị hoạt động, nhưng các bài kiểm tra độ méo, độ lợi và xuyên điều chế cũng có thể được thực hiện để đủ điều kiện cho bộ khuếch đại công suất. Các phép đo dịch tần số cho máy trộn với đặc tính pha trên băng thông của thiết bị là một ví dụ khác về các ứng dụng đo lường được hỗ trợ của giải pháp chung. Các thiết lập đã được hiệu chuẩn đầy đủ cũng cho phép tất cả các kết quả được lấy trực tiếp từ VNA mà không cần xử lý sau vì dữ liệu hiệu chuẩn được áp dụng trực tiếp cho VNA. Bộ mở rộng tần số từ Rohde & Schwarz mở ra các tần số THz phụ như D-band, hiện đang là trọng tâm của nghiên cứu 6G. Các bộ mở rộng sẽ được tích hợp vào trạm đầu dò để đảm bảo cáp ngắn nhất và kích hoạt dải động tối ưu đồng thời tránh tổn thất do cáp vào đầu đầu dò.